制冷機(jī)低溫泵的用途及分類
發(fā)布時間：2016年07月15日 09:45 閱讀：4967
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澤德
制冷機(jī)低溫泵將低溫面、擋板組裝在封閉循環(huán)的低溫制冷機(jī)系統(tǒng)中，與制冷機(jī)組合為一體，尤 其近年來，隨著可靠性高的小型制冷機(jī)商品化，使用帶小型制冷機(jī)的低溫泵越來越多。
制冷機(jī)低溫泵的制冷機(jī)一、二級冷頭直接和輻射屏、冷板相連，在制冷機(jī)與壓縮機(jī)連接管路中 流動的是常溫、高(或低)壓氣體介質(zhì)，不存在低溫介質(zhì)的輸送問題，是目前比較理想的清潔超高真 空泵。這種低溫泵廣泛用于薄膜制備、微電子學(xué)技術(shù)、高能物理、小型環(huán)境模擬設(shè)備以及其他各個 工業(yè)領(lǐng)域。為得到超高真空，必須抽除氦、氖、氫等氣體，在低溫板上涂吸附劑加活性炭等即可達(dá) 到目的。
小型制冷機(jī)低溫泵外殼結(jié)構(gòu)分為三種類型：
?、俾闶奖?，將泵芯直接插入真空室中。
②直筒泵，泵體外形為直筒形，是最常見的一種泵。
③凸腔泵，泵腔部分?jǐn)U大，提高了泵的抽速。
制冷機(jī)低溫泵可以人為地分為兩個部分：真空腔與制冷機(jī)。真空腔包括泵殼、屏蔽罩、屏蔽擋板、低溫冷凝面與活性炭吸附面。制冷機(jī)在此僅僅指內(nèi)部制冷部件，是制冷機(jī)低溫泵的核心。
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