擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵，是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一。高真空擴散泵主要結(jié)構(gòu)有泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣導(dǎo)流管、加熱器和冷卻器等。
擴散泵中的油在真空中加熱到沸騰溫度(約200℃)產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管由各級噴嘴定向高速噴出。由于擴散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓強高于蒸氣流中該氣體的分壓強。這樣，被抽氣體分子沿著蒸氣流方向高速運動，氣體分子碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進(jìn)行多級壓縮，最后由前級泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環(huán)工作達(dá)到抽氣目的。
通常擴散泵的性能是以極限真空、最大反壓強、抽氣速率以及設(shè)置冷阱或低溫?fù)醢宥ā?/div>
1．極限真空
如果對一般油擴散泵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)，如減少油蒸氣的返流，加分餾裝置，合理分配加熱功率，改進(jìn)噴嘴角度設(shè)計，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴散泵性能大大改善，極限真空可達(dá)到更低的壓強。
2．最大反壓強
最大反壓強是指擴散泵所允許的前置壓強最大值。如果前級泵所產(chǎn)生的壓強高于最大反壓強，則擴散泵就不能正常工作。
3．抽氣速率
擴散泵的抽速可根據(jù)氣體分子運動理論來推算出來，故稱為理論抽速。
但實際上理論抽速是很難達(dá)到的，其原因除工作蒸氣流速受到限制以外，還因為抽氣機的進(jìn)氣套管與進(jìn)氣口具有流阻，同時氣體分子并不是全部都能很好地擴散人蒸氣流中。部分氣體分子與蒸氣分子相碰撞時，可能反射回去，甚至未能被蒸氣流捕集。
4．設(shè)置冷阱及低溫?fù)醢宓脑?/div>
由于擴散泵噴嘴噴出來的油蒸氣分子，大部分由泵壁冷凝，這是因為泵壁外設(shè)置冷卻水套或冷卻管道的緣故。但是有少部分蒸氣分子被泵壁反射，散射會返回被抽空間，這種現(xiàn)象在低溫實驗室中要特別注意。如在擴散泵和被抽容器之間加上冷阱或低溫?fù)醢?，這樣就能使返回的蒸氣被冷壁冷凝下來，截止了油蒸氣的返流。
影響油擴散泵性能的因素如下。
(1)擴散泵的返流。
(2)氣體分子的反擴散。
(3)擴散泵油的裂化分解。一般擴散泵對其工作油的要求是飽和蒸氣壓要低，受熱穩(wěn)定性好，不易被氧化，分子量大的高沸點的液體，如硅油是擴散泵中比較理想的工作油。
(4)泵清洗不干凈，污染物質(zhì)留在泵內(nèi)并重復(fù)循環(huán)，影響其真空度。
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