油擴(kuò)散泵的操作包括開泵、停泵兩個(gè)做要得動作。
(1)油擴(kuò)散泵的開泵順序
?、俳油〝U(kuò)散泵的冷卻水，用機(jī)械泵預(yù)抽真空，在擴(kuò)散泵人口壓力低于10-1Pa后，接通擴(kuò)散泵加熱電爐的電源，對擴(kuò)散泵加熱。
?、趯τ贙-400以下的小泵，加熱45min后泵可正常工作，K-500～K-1200的大泵，需加熱45～65min后才能正常工作。因此，在使用擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)注意安排好擴(kuò)散泵的啟動時(shí)間。
?、鄞蜷_擴(kuò)散泵人口閥門，泵即可正常工作。
(2)油擴(kuò)散泵的停泵順序
?、訇P(guān)閉擴(kuò)散泵人口高真空閥門和真空計(jì)的電源。
?、谇袛鄶U(kuò)散泵加熱電源，機(jī)械泵繼續(xù)工作。
③再工作30min(小泵)到2h(大泵)以后，關(guān)閉擴(kuò)散泵與機(jī)械泵之間的閥門，停止機(jī)械泵工作，并向機(jī)械泵內(nèi)放人空氣(如果機(jī)械泵入口裝有電磁放氣閥，在切斷機(jī)械泵電源后，會因電氣連鎖而自動放氣)。
?、墚?dāng)泵的油鍋溫度接近50～60℃后，關(guān)閉擴(kuò)散泵的冷卻水。
?、轂榧涌鞌U(kuò)散泵冷卻，可以卸下電爐，采用噴淋水的方法冷卻?，F(xiàn)代大型擴(kuò)散泵都在油鍋外壁設(shè)有急冷水管(或套)，泵正常工作時(shí)不通水，切斷電源時(shí)通水急冷。
(3)操作注意事項(xiàng)
①擴(kuò)散泵內(nèi)油溫較高時(shí)，不允許放人大氣，以防泵油氧化變質(zhì)，影響正常工作。停泵時(shí)應(yīng)保持泵內(nèi)處于真空狀態(tài)。
?、陂L期停泵時(shí)，水冷管(套)內(nèi)的冷卻水應(yīng)放盡，并用壓縮空氣吹干。
?、蹤C(jī)械泵停止工作同時(shí)從泵入口放氣，以免機(jī)械泵油流入擴(kuò)散泵內(nèi)?，F(xiàn)代擴(kuò)散泵機(jī)組都設(shè)計(jì)有電磁放氣閥，停泵時(shí)自動放氣。
?、軘U(kuò)散泵正常工作后，才可以打開人口高真空閥，停泵時(shí)先關(guān)高真空閥，以減少返流泵油，避免污染被抽容器。
?、輵?yīng)確認(rèn)冷卻水暢通，泵內(nèi)真空度大于1Pa時(shí)才能對擴(kuò)散泵加熱。定期檢查泵油，及時(shí)加注或更換油。
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