常見干式真空泵的構造及抽氣特性

　　多級羅茨真空泵、多級爪型真空泵、螺桿式真空泵、渦旋型真空泵及組合式真空泵是幾種常見的干式真空泵，因其構造和工作原理不同，所以，它們的抽氣特性也不同。

　　1.多級羅茨真空泵。羅茨式是最早出現(xiàn)的干式真空泵，在設計理念上就是多個羅茨泵的疊加。這種結構使得氣體通路長而復雜，導致冷凝物的堆積，同時被化學氣體腐蝕的可能性大大增加。由于是多級設計，級與級之間又多采用密封，從而使得維修工作比較麻煩。

　　2.多級爪型真空泵。它采用了形狀復雜的爪型轉子。這種泵也類似羅茨泵型式，兩個轉子與泵體之間形成泵腔的抽氣容積，吸氣口和排氣口是固定在上下端蓋的側面上，由轉子旋轉過程中自動開關。沿軸向逆流少。因此在高壓區(qū)它的壓縮比要比羅茨泵的壓縮比高。由于這種泵的吸氣口和排氣口安置在泵腔的側壁上，多級連接起來很方便，氣道流暢，泵內(nèi)腔壓力變化平緩，有利于防止可凝性氣體的凝結。為了防止可凝性氣體在泵內(nèi)的凝結，也要向泵腔內(nèi)通凈化氣體。

　　3.螺桿式真空泵。干式螺桿真空泵是20世紀90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種，其結構緊湊，抽速大，真空度高，可直排大氣，工作部件無摩擦，壽命長。在螺桿式壓縮機中，螺旋轉子的螺旋圈數(shù)在一圈以內(nèi)，而螺桿真空泵的螺旋圈數(shù)在2圈以上，這樣可減少返流量，提高壓縮比。

　　4.渦旋型真空泵。渦旋型干式真空泵根據(jù)其轉動方式不同，分為兩種型式：一種是一個渦旋固定不動(稱為靜渦旋)，另一個渦旋圍繞著它公轉平動而不能自轉(稱為動渦旋)的公轉型；另一種是兩個渦旋同步同方向各自繞自身軸轉動的回轉型，它的兩個渦旋都是動渦旋。

　　渦旋型真空泵的氣體從周邊吸入向中心壓縮，由中間排氣，實現(xiàn)連續(xù)吸氣、壓縮和排氣的整個抽氣過程。這種泵壓縮平穩(wěn)、驅動力矩變化小，故振動小、噪聲低，相鄰的兩個月牙腔容積的壓差小，故間隙泄漏也小，而且端面有密封，可得到較高的壓縮比。

　　5.組合式真空泵。組合式真空泵指的是羅茨型干式真空泵和爪型干式真空泵的組合。

　　組合式(羅茨+爪)設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路與圓裂片式設計完全相同。也有將其最后一級改為星型設計，這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為5份，就像三圓裂片式設計可以將其分為3份。同樣，在很多工藝中，組合式設計的每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。

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