在近年來，由高真空油擴(kuò)散泵和作為前級泵的油封式機(jī)械泵組成的排氣系統(tǒng)，在各工業(yè)部門廣泛得到應(yīng)用。在這樣的真空系統(tǒng)中不可避免地要發(fā)生油蒸氣的返流、使真空容器遭到污染，而且在真空容器中進(jìn)行作業(yè)所用的工藝氣體會在油中溶解，工藝過程反應(yīng)生成的顆粒狀副產(chǎn)物也會在油中積聚，使油本身變質(zhì)劣化。

　　近年來，半導(dǎo)體芯片制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展提出的要求，作為高真空泵不能有油蒸氣存在，因此無油的渦輪分子泵、復(fù)合分子泵在該領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。但是，前級泵還沒有真正解決真空系統(tǒng)無油污染的技術(shù)難題。1984年以前研制過一些實(shí)驗(yàn)室和專門用途的干式泵。但價格昂貴、運(yùn)行間隙過小，很難在商業(yè)上推廣應(yīng)用。之后，相繼出現(xiàn)了多種型式的干式泵，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。

　　干式真空泵也稱為無油真空泵。在泵的抽氣流道中，不能使用任何油類和液體。排氣口與大氣相通，能連續(xù)向大氣中排氣。能產(chǎn)生10^-2Pa壓力范圍的真空。

　　干式真空泵的分類

             

　　現(xiàn)在市場上提供的干式真空泵種類很多。可分為兩類：容積式和動量傳輸式。容積式無油真空泵，如多級羅茨泵、爪型泵、往復(fù)式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等。這種干式泵的極限壓力一般為0.1～10Pa，抽速為0.01～0.04m3/s。動量傳輸式的無油真空泵，如渦輪式無油泵。排氣側(cè)與大氣相接，在連續(xù)流狀態(tài)下壓縮比較高。它是一種粗抽泵，可從標(biāo)準(zhǔn)大氣壓抽到10^-2Pa。在結(jié)構(gòu)上采用徑向和周向流泵的復(fù)合式結(jié)構(gòu)，多級串聯(lián)取氣。這種泵的極限壓力約為10^-2Pa，抽速為0.02～0.15m3/s。